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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제2권 제4호
발행연도
1993.12
수록면
455 - 461 (7page)

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Glass와 실리콘 웨이퍼(p-type(100), p=6~8 Ω-cm)를 기판으로 하여 NiFe/glass, NiFe/Si, NiFe/Al/Si, NiFe/Ti/Si의 박막을 제작하였다. 하지층으로 사용한 알루미늄과 티타늄은 RF 스퍼터링으로 증착하였으며 퍼멀로이 (NiFe) 필름은 60, 80, 90 wt% Ni로 조성을 변화시켜 증착하였다. 박막의 포화자화(M_s), 보자력 (H_c), 각형비 (F)는 sweep time을 1.7분으로 하여 시료 토크마그네토 메터로 측정하였다. 보자력에 영향을 주는 표면조도는 전자주사현미경(SEM) 과 표면조도 측정기로써 알아보았다. 실험결과 80 wt% Ni의 퍼멀로이에서 자장 중 열처리(35 Oe, 350℃) 후 약 1의 각형비를 나타내었으며 열처리 후 보자력이 떨어짐을 보였다. 자기이방성은 알루미늄을 하지층으로 한 퍼멀로이 박막에서 가장 좋은 값(K_u=-9.60×10^6 emu/㎤)을 나타내었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 및 측정

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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