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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제3호
발행연도
1996.9
수록면
181 - 187 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

1~105Pa 영역의 저진공 표준 확립
홍승수 ,  신용현 ,  정광화 Applied Science and Convergence Technology 1996.09 학술저널
저압 저진공영역(10-¹ ~ 105 Pa)의 국가표준확립 및 이를 이용한 CDG의 국제비교
홍승수 ,  신용현 ,  정광화 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.02 학술대회자료

초록· 키워드

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초음파간섭원리를 이용한 액주형압력계를 개발하여 측정범위가 1 Pa(7.5^(-3) torr) 에서 10^5 Pa(대기압)이고 오차가 ±(30 ppm of pressure+12 mPa)인 저진공영역의 국가표준을 확립하였다. 이 표준기가 개발되므로서 이 영역의 전달표준기인 용량형진공계의 교정이 가능하여 산업체등과의 측정표준의 소급성을 유지 할 수 있게 되었을 뿐만아니라, 용량형진공계를 이용한 국제비교를 통해 국가표준기의 신뢰성을 높이고 측정능력을 향상시킬 수 있는 기반을 마련하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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