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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제4호
발행연도
1994.12
수록면
389 - 394 (6page)

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설계변경된 sector 챔버를 제작하고, 저장링 챔버로서 성능을 알기 위하여 각종 진공실험을 하였다. 가스방출률은 낮은 10^(-13) Torr.1/sec/㎠이고 누설률은 1×10^(-10) Torr.1/sec이하이며 2회 bakeout과 NEG활성화후 얻어진 최종진공도는 낮은 10^(-11) Torr이었다. 이러한 결과는 저장링 sector챔버의 진공요구조건을 충분히 만족시킨다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 진송계통

3. 챔버의 성능 테스트

4. 결론

참고문헌

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