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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2001.7
- 수록면
- 275 - 281 (7page)
이용수
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2001
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플라즈마 반응기 내에서 입자 전하 분포가 Gaussian 형태로 표현될 때 전하 분포를 가지는 입자들의 충돌에 의한 입자 성장을 discrete-sectional 모델을 사용하여 이론적으로 고찰하였다. 플라즈마 반응기 내에서 입자 성장을 분석하기 위해 monomer 크기, monomer 생성 속도 등의 공정 변수들을 변화시켰다. 입자 크기가 40 ㎚이상인 큰 입자들은 플라즈마 반응기 내에서 대부분이 음으로 존재하였으며 40 ㎚이하인 작은 입자들은 음성, 중성 혹은 양으로 존재하였다. 입자 충돌에 의해 입자 크기가 증가함에 따라 입자 표면적의 증가와 더불어 입자가 가지는 평균 음전하수도 증가하였다. 입자 충돌에 의해 큰 입자들이 생성됨에 따라 입자크기분포는 2개의 모드로 양분화 됐다. 본 연구의 이론 결과와 Shiratani 등 [3]의 실험 결과가 비교적 잘 맞았으며 본 연구에서 사용한 모델식은 플라즈마 반응기 내에서 수 나노 크기의 입자 성장 연구에도 활용될 수 있을 것으로 기대된다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
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