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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제2호
발행연도
1999.5
수록면
111 - 115 (5page)

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MgO(001) 단결정 기판에 스퍼터링법으로 제조된 에피탁시 BaTiO₃ 박막의 온도에 따른 구조적인 특성 변화를 실시간 방사광 x선 산란 실험을 이용하여 연구하였다. 제조된 박막은 상온에서 c축이 박막표면의 수직방향과 평행한 정방정 구조를 지닌 단일 분역구조의 박막임을 확인하였다. 또한 박막의 격자상수는 덩어리 BaTiO₃의 격자상수에 비하여 기판평행 방향 뿐만 아니라 기판수직 방향으로도 팽창되어 있었다. 한편 이 박막을 상온에서 600℃까지 가열하였을 때 정방정 결정구조가 그대로 유지되었으며, 일반적으로 정방정 에피탁시 강유전 박막에서 관찰되는 정방정-입방정 상변태가 발생하지 않았다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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