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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제4(2)호
발행연도
1999.12
수록면
524 - 529 (6page)

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메탄올을 전기분해 하여 실리콘 기판에 다이아몬드 상 탄소 박막을 증착하였다. 메탄올 용액의 전도성을 향상시키기 위하여 암모니아수를 미량 첨가하였다. 증착된 박막의 결정구조와 morphology는 XRD와 SEM으로 조사하였다. 실험결과 메탄올 용액만을 전기분해 하였을 경우 1500 V 이상의 고전압을 인가하여야 나타나던 다이아몬드 피크가 암모니아수를 첨가한 경우에는 300 V의 낮은 전압에서 (111), (220), (311) 면을 갖춘 더욱 명확한 피크로 나타남으로써 더 나은 다이아몬드 박막을 증착할 수 있었다. 낮은 전압을 인가한 결과 용액의 온도를 40℃ 근방에서 평형상태로 유지할 수 있었으며 용액의 비등에 의한 기판 근처의 기포 발생도 억제할 수 있었고 전류밀도 또한 80 ㎃/㎠로 증가하였다. 따라서 암모니아수의 첨가는 낮은 인가전압에서 다이아몬드 상 카본 박막을 증착할 수 있도록 촉매의 역할을 하는 것으로 생각된다. 이에 대한 화학반응적 논의를 하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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