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한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호
발행연도
1999.8
수록면
327 - 332 (6page)

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고속 실시간 분과 엘립소미트리를 이용하여 크롬 박막의 성장을 연구하였다. 이 장비는 1.3 eV에서 4.5 eV에 걸쳐 512개의 {Δ(hV), Ψ(hv)}를 가진 스펙트럼을 20 msec 이하의 속도로 연속하여 측정할 수 있는데, 크롬 박막 성장에 적용하였을 때 박막의 성질뿐만 아니라 공정과정에 관련된 정보까지 얻을 수 있었다. 각기 다른 증착조건에서 증착률 및 광학적 특성의 시간적 변화를 구할 수 있었으며 공정에서 대기 노출로 인한 오염과정을 보여줄 수 있었다.

목차

Abstract

요약

Ⅰ. Introduction

Ⅱ. Experimental

Ⅲ. Results and Discussion

Ⅳ. Summary

Acknowledgments

References

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