(InAs)n(AlAs)n 단주기 초결자의 MBE 성장과 X선회절

우덕하; 우종천

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자료유형: 학술저널

저자정보: 우덕하 우종천

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제3호

발행연도: 1992.10

수록면: 395 - 399 (5page)

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In_(0.5)Al_(0.5)As와 같은 조성을 갖는 합금인 n=1~4인 (InAs)_n(AlAs)_n 형태의 완벽한 층상구조의 단주기 초격자를 MBE 방법으로 성장하였다. 저온 PL 측정을 통하여 광학적 특성을 조사하였으며, Raman 산란실험을 통하여 구조적 특성을 조사하였다. X선회절 실험을 통하여 홀수 번호의 회절을 관측할 수 있었는데 이것은 초격자에 의한 새로운 주기의 형성을 직접적으로 보여 주는 것이다.

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