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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제11권 제4호
발행연도
2002.12
수록면
189 - 193 (5page)

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진공기술기반구축사업의 진공 측정기기 평가장치 구축사업으로 저진공(10^(-1) ㎩~10^5 ㎩)게이지 종합특성 평가 장치를 설계제작하였다. 이 장치를 이용하여 열전도형 게이지의 정확도, 직선성, 반복성, 기체감도, 그리고 장기 안정성 등에 대한 특성 평가를 수행하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 평가장치 설계ㆍ제작

3. 실험 및 결과

4. 결론

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