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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제3호
발행연도
2000.9
수록면
263 - 266 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2000

Al / TiO₂ - SiO₂ / Mo 구조를 가진 Antifuse의 전기적 특성 분석
홍성훈 ,  노용한 ,  배근학 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2000.09 학술저널
Al / TiO₂ - SiO₂ / Mo 구조를 가진 Antifuse 의 전기적 특성 분석
홍성훈 ,  배근학 ,  노용한 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 낮은 구동 전압에서 동작하고 안정된 on/off 상태를 갖는 Al/TiO₂-SiO₂/Mo 형태의 안티퓨즈를 제작하였다. 하부전극으로 사용된 Mo 금속은 표면상태가 부드럽고 녹는점이 높은 매우 안정된 금속으로, 표면 위에 제조된 SiO₂의 특성을 매우 안정되게 유지시켰다 또한 TiO₂ 절연막을 SiO₂ 절연막 위에 복층 구조로 증착하여, Ti 금속의 침투로 인한 SiO₂ 절연막의 약화로 동일 두께(100 Å)의 SiO₂ 단일막에 비하여 향상된 절연파괴 전압을 얻을 수 있었다. TiO₂-SiO₂ 이중 절연막을 사용하여 적정 철연파괴전압 및 ON-저항을 구현하였으며, 두께가 두꺼워짐으로 인해 바닥금속의 거칠기의 영향을 최소화시킬 수 있었다. 이중 절연막의 두께는 250 Å이고 프로그래밍 전압은 9.0V이고 약 65Ω의 on 저항을 얻을 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 토의

4. 결론

참고문헌

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