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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제3호
발행연도
2000.9
수록면
242 - 248 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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고주파 스퍼터링 방법으로 증착조건을 변화시키면서 BST 박막을 제작하였다. 증착온도가 높을수록, Ar/O₂ 비가 적을수록 우수한 전기적 특성을 보였다. 누설전류 전도기구를 분석하기 위해 Schottky 모델과 modified-Schottky 모델을 도입하였다. BST 박막의 누설전류 전도기구는 기존의 Schottky 모델이 아니라 modified-Schottky 모델을 따른다는 것을 알았다. Modified-Schott 앙 모델을 사용하여 광학유전상수 ε=4.9, 이동도 μ=0.019 ㎠/N-s, 그리고 장벽높이 φ_b=0.79 eV를 구하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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