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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제4호
발행연도
2006.7
수록면
338 - 346 (9page)

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반도체 공정에 사용되는 진공펌프는 가혹한 운전조건과 비선형적 특성으로 인하여 고장시점을 정확히 예측해내기가 어려운데 이로 인해 불량품이 양산되거나 불필요한 재원이 낭비되는 등의 문제가 발생하게 된다. 따라서 펌프의 운전상태를 올바르게 모니터링하고 고장 지점을 정확히 인지해 적절한 펌프 교체 시점을 알려주는 진공펌프 상태진단 모델의 개발은 매우 시급하고도 중대한 문제라 할 수 있겠다. 본 연구에서는 다변량 통계기법을 이용하여 영향력 있는 인자들을 종합적으로 고려하였으며 최종적으로 Hotelling's T2 통계량을 이용한 진공펌프 상태진단 모델을 제안하였다. 핵심적인 알고리즘으로는 Multiway Principal Component Analysis(MPCA)와 Dynamic Time Warping Algorithm(DTW Algorithm) 기법 등이 사용되었다.
#진공펌프 #배치 #다중주성분분석 #동적 시간 왜곡 알고리즘 #통계적 거리 #Vacuum pump #Batch #Multiway principal component analysis #Dynamic time warping algorithm #Hotelling's T²

목차

한국어 초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 및 분석
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
영어 초록

참고문헌 (2)

참고문헌 신청
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