Hot-filament 화학기상 증착법에 의한 탄소나노튜브의 성장 및 표면 특성

최은창; 김정태; 박용섭; 최원석; 홍병유

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최은창 김정태 박용섭 최원석 홍병유

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제3호

발행연도: 2007.5

수록면: 187 - 191 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

Hot-filament 플라즈마화학기상증착법 이용한 패턴된 DLC층 위에 탄소나노튜브의 선택적 배열

최은창 , 박용섭 , 홍병유 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

2007

Hot-filament 화학기상 증착법에 의한 탄소나노튜브의 성장 및 표면 특성

최은창 , 김정태 , 박용섭 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2007.05 학술저널

Hot-filament 화학기상 증착법으로 성장된 Carbon Nanotube의 구조 및 표면 특성의 연구

최은창 , 김정태 , 박용섭 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

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본 연구에서는 실리콘 웨이퍼 위에 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 Ni 촉매 층을 증착시키고, NH₃와 C₂H₂gas를 이용하여 탄소나노튜브를 성장시켰다. Hot-filament 플라즈마 화학기상 증착법으로 탄소나노튜브의 성장 온도는 350, 450, 550, 650℃로 변화시켰으며, 성장되어진 탄소나노튜브는 field emission scanning electron microscope(FESEM) 분석을 하여 관찰하였고, 접촉각 측정법을 이용하여 탄소나노튜브 층의 특성을 분석하였다. 결과적으로 성장 온도는 탄소나노튜브의 성장 특성을 변화시키는 중요한 요소이다.

#Hot-filament #Carbon nanotubes #Metal catalyst #Contact angle

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최은창

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 107

김정태

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 107

박용섭

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 6 이용수 164

최원석

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 24

홍병유

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 150

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