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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
권명근 황영규 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제4호
발행연도
2009.7
수록면
272 - 280 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (16)

2009

원판형 분자 드래그펌프 다단 회전자에 대한 압력분포 측정
권명근 ,  황영규 Applied Science and Convergence Technology 2009.07 학술저널

2007

원판형 분자드래그펌프의 다단 회전자 유동장내 압력분포
권명근 ,  김도행 ,  황영규 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료
원판형 분자 드래그펌프 회전자에 대한 압력 측정
권명근 ,  김도행 ,  황영규 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료
원판형 분자 드래그펌프 회전자 각각의 위치에 대한 압력측정
권명근 ,  황영규 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

2006

분자드래그펌프 회전자와 고정자 사이 미세간극사이 희박기체유동해석
권명근 ,  황영규 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료
원판형 분자드래그펌프의 회전익형 주위 진공압력 측정
권명근 ,  황영규 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2006.08 학술대회자료
원판형 분자 드래그펌프 회전자와 고정자 사이 간극 크기가 배기성능에 미치는 영향 대한 연구
권명근 ,  황영규 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

2005

드래그 회전자 형상에 대한 복합분자펌프의 배기성능
권명근 ,  이수용 ,  황영규 한국진공학회 학술발표회초록집 2005.08 학술대회자료
분자드래그펌프 회전자와 고정자 사이의 간극에 대한 배기성능 예측
권명근 ,  황영규 대한기계학회 춘추학술대회 2005.05 학술대회자료

2004

원판형 드래그펌프 회전자와 고정자 사이의 간극이 성능에 미치는 영향
권명근 ,  황영규 대한기계학회 논문집 B권 2004.12 학술저널
고속 회전하는 원판형 드래그펌프 회전익과 고정익 사이 간극이 배기 성능에 미치는 영향
권명근 ,  이수용 ,  황영규 대한기계학회 춘추학술대회 2004.11 학술대회자료
원판형 드래그펌프 회전자의 채널이 성능에 미치는 영향에 관한 실험적 연구
권명근 ,  이수용 ,  황영규 대한기계학회 춘추학술대회 2004.04 학술대회자료
원판형 드래그펌프 회전자의 채널이 성능에 미치는 영향에 관한 실험적 연구
권명근 ,  이수용 ,  황영규 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

2003

원판형 드래그펌프 채널형상의 성능에 미치는 영향
권명근 ,  이승재 ,  황영규 대한기계학회 춘추학술대회 2003.11 학술대회자료
다단 원판형 드래그펌프의 배기 성능에 관한 실험적 연구
권명근 ,  허중식 ,  황영규 Applied Science and Convergence Technology 2003.06 학술저널
희박기체영역에서의 나선형 홈을 가진 원판형 드래그펌프의 배기속도에 관한 실험적 연구
권명근 ,  양성민 ,  이승재 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2003.04 학술대회자료

초록· 키워드

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원판형 분자 드래그펌프 내부의 회전자 위치에 따른 압축 성능과 배기특성에 대하여 실험과 수치 해석적으로 고찰하였다. 실험은 각각의 회전자 위치에 진공압력 게이지들을 부착하여, 펌프의 출구 압력이 0.2 Pa에서 533 Pa 사이일 때, 각 회전자에서의 압력을 측정하였다. 압력측정범위는 출구 압력이 0.2 Pa에서 533 Pa 범위사이에서 측정하였다. 진공펌프 로터의 회전 속도는 24,000 rpm이며, 질소 가스를 사용하여 성능실험을 수행하였다. 본 연구에서는 원판의 단의 수에 따른 원판형 분자 드래그펌프의 성능특성을 파악하고자 하였다. 수치해석을 통해 내부 유동채널에 대한 구체적인 압력 분포를 파악하였으며, 수치해석의 신뢰도 파악을 위하여 실험 측정값과 수치해석 값을 비교하여 검증하였다.
#분자 드래그펌프 #원판형 회전자 #압축비 #배기속도 #Molecular drag pump #Disk-type rotor #Compression ratio #Pumping speed

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법 및 실험 장치
Ⅲ. 수치해석
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Hablanian M / 1994 / Vacuum Science and Technology: Pioneers of 20th Century : 126 ~ 132 google schola 2. [단행본] - Hablanian M. H / 1990 / High Vacuum Technology / Marcel dekker google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Heo J. S / 2000 / Molecular Transition and Slip Flows in the Pumping Channels of Drag Pumps / J. Vac. Sci. Technol. A 18 (3) : 1025 ~ 1034 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Heo J. S / 2001 / Spiral Channel Flows in a Disk-type Drag Pump / J. Vac. Sci. Technol. A 19 (2) : 656 ~ 661 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Tu J. Y / 1990 / A New Design for the Disk-Type Molecular Pump / J. Vac. Sci. Technol. A 8 (5) : 3870 ~ 3873 google schola

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