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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.11
- 수록면
- 403 - 410 (8page)
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진공챔버는 진공게이지 교정, 산업에서의 재료처리 등 여러 가지 다양한 용도에 맞게 적용이 가능하다. 이 진공챔버 내부에서 가스가 유입되는 과정에서의 진공도는 일정하게 유지하기가 힘들다. 산업체 응용에서뿐만 아니라 연구과정에서도 진공챔버 내부에 가스가 유입되는 동안의 내부압력분포와 최대도달 평형압력을 아는 것이 매우 중요하다. 이러한 진공챔버 내부의 압력 불균형을 감소시키기 위해서 가스 주입구 부분에 baffle을 이용하는 방법이 있다. 현재 지속적인 기체흐름이 있는 진공챔버 내부의 기체흐름의 작용에 관해 0.1 Pa~133 Pa 영역에서 불규칙한 압력을 최소화하기 위한 baffle plate의 효과에 대해 연구하였다. 최대편차는 가스 주입구 부분에서 나타나는 압력으로 baffle plate가 전환흐름영역에서 큰 영향을 미치는 것으로 나타났다.
목차
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. THEORY
Ⅲ. EXPERIMENTAL SET-UP AND PROCEDURE
Ⅳ. RESULTS AND DISCUSSION
Ⅴ. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES
참고문헌 (22)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 이상훈 / 2008 / 우주개발과 진공기술의 응용 / 한국진공학회지 17 (4) : 270 ~ 277
2. [학술지(정기간행물)] - F. Stanek / 2002 / Extending the range of pressure generated dynamically up to 100 Pa in a calibration chamber pumped by a turbomolecular pump / Vacuum 67 : 307 ~
3. [학술지(정기간행물)] - P. Repa / 1999 / Measurement of pressure differences between various positions in a vacuum chamber where pressure is generated dynamically / Metrologia 36 : 551 ~
4. [학술지(정기간행물)] - S. B. Nesterov / 1999 / Influence of the vacuum chamber shape on the non-uniformity of gas distribution / Vacuum 53 : 193 ~
5. [학술지(정기간행물)] - B.C. Moore / 1969 / Causes and consequences of nonuniform gas distributions in vacuum system / J. Vac. Sci. Technol 6 (1) : 246 ~
2. [학술지(정기간행물)] - F. Stanek / 2002 / Extending the range of pressure generated dynamically up to 100 Pa in a calibration chamber pumped by a turbomolecular pump / Vacuum 67 : 307 ~
3. [학술지(정기간행물)] - P. Repa / 1999 / Measurement of pressure differences between various positions in a vacuum chamber where pressure is generated dynamically / Metrologia 36 : 551 ~
4. [학술지(정기간행물)] - S. B. Nesterov / 1999 / Influence of the vacuum chamber shape on the non-uniformity of gas distribution / Vacuum 53 : 193 ~
5. [학술지(정기간행물)] - B.C. Moore / 1969 / Causes and consequences of nonuniform gas distributions in vacuum system / J. Vac. Sci. Technol 6 (1) : 246 ~
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