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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.3
- 수록면
- 106 - 113 (8page)
이용수
초록· 키워드
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본 논문은 마이크로히터표면의 실시간 온도분표측정을 위한 마하젠더 간섭계 기반의 off-axis 디지털홀로그래피기술에 대한 것이다. 제안된 방법은 재료표면의 온도분포에 직접적인 함수인 2차원 위상 분포를 측정하고, 이를 통해 실시간으로 재료표면의 온도 map을 측정할 수 있다. 본 논문에서는 섭씨 20도에서 60도 사이의 온도구간에서 마이크로히터 표면의 위상변화와 실제표면온도가 선형적인 관계가 있음을 실험적으로 보였다. 제안된 방법은 재료표면의 온도분포를 실시간으로 측정하고자 하는 다양한 응용분야에 적용될 수 있을 것으로 기대된다.
목차
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental method
Ⅲ. Results and discussion
Ⅳ. Conclusion
Acknowledgement
References
참고문헌 (17)
참고문헌 신청
1. [단행본] - F. Mayinger / 2001 / Optical Measurements Techniques and Applications in Heat and Mass Transfer / Springer Verlag : 5 ~ 37
2. [학술지(정기간행물)] - 김인구 / 2010 / High-k 산화물 박막의 열전도도 측정 / 한국진공학회지 19 (2) : 141 ~ 147
3. [학술지(정기간행물)] - M. Goharkhah / 2009 / / J. Exp. Therm. Fluid Sci 33 : 1188 ~
4. [학술지(정기간행물)] - D. Naylor / 2003 / / J. Heat Fluid Flow 24 : 345 ~
5. [학술지(정기간행물)] - P. A. Walsh / 2006 / / Exp. Therm. Fluid Sci 30 : 853 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 김인구 / 2010 / High-k 산화물 박막의 열전도도 측정 / 한국진공학회지 19 (2) : 141 ~ 147
3. [학술지(정기간행물)] - M. Goharkhah / 2009 / / J. Exp. Therm. Fluid Sci 33 : 1188 ~
4. [학술지(정기간행물)] - D. Naylor / 2003 / / J. Heat Fluid Flow 24 : 345 ~
5. [학술지(정기간행물)] - P. A. Walsh / 2006 / / Exp. Therm. Fluid Sci 30 : 853 ~
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