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구정우 (광운대학교) 김재민 (광운대학교) 류동훈 (광운대학교) 최범진 (광운대학교) 김동우 (광운대학교) 이두헌 (광운대학교) 김은일 (광운대학교) 미타니 세이지 (물질재료연구기구) 가미코 마사오 (동경대학교) 하재근 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
7 - 13 (7page)

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자기조립화된 Fe/Au 이중층 위에 L10형 구조를 갖는 FePd 나노 점을 성공적으로 제작하였다. AFM를 이용하여 초기에 편평한 Fe/Au 이중층 박막이 온도가 증가함에 따라서 응집되어 나노 점 구조로 변형되는 것을 확인하였다. 또한 형성된 이중층위에 FePd 다층막을 300℃, 350℃, 400℃, 450℃에서 각각 증착하였다. 초격자 구조를 갖는 FePd 다층막의 표면형상은 응집현상에 의하여 자기조립화된 이중층의 형상과 유사하였다. XRD 측정결과, 350℃ 이상에서 열처리된 FePd 다층막은 L1?형 구조를 갖는다는 것을 확인하였다. 그리고 박막두께에 따른 XPS 측정결과는 전체 박막의 화학적 조성이 증착순서와 일치하는 것을 보여주었다. 결과적으로 추가적인 식각공정 없이 화학적으로 규칙화된 FePd 초격자 나노 점의 제작에 성공하였다.
#자기조립화 #응집현상 #FePd 초격자 #나노 점 #Self-organization #Agglomeration #FePd superlattice #Nano-dot

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (17)

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1. [학술지(정기간행물)] - G. Schmid / 1992 / / Chem. Rev 92 : 1709 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - W. Zhang / 2003 / / J. Nanopart. Res 5 : 323 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - W. Fritzsche / 2003 / / Nanotechnology 14 : R63 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S. Sun / 2000 / / Science 287 : 1989 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - H. -M. So / 2003 / / Phys E 18 : 243 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273093