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자료유형
학술저널
저자정보
H. M. Lee (울산대학교) S. B. Heo (울산대학교) Y. M. Kong (울산대학교) Daeil Kim (울산대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제3호
발행연도
2011.5
수록면
195 - 199 (5page)

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RF 마그네트론 스퍼터와 DC 마그네트론 스퍼터를 병행하여 ITO/Au/ITO, ITO/Cu/ITO, 그리고 ITO/Ni/ITO 박막을 유리기판 위에 증착하였다. 증착 후 진공열처리를 통하여 층간 금속 층이 ITO박막의 메탄올 검출 민감도에 미치는 영향을 분석하였다. 모든 박막센서의 두께는 100 ㎚로 동일하게 ITO 50 ㎚/metal 10 ㎚/ITO 40 ㎚로 제작되었고 메탄올 농도는 100에서 1,000 ppm까지 달리하였다. ITO/Au/ITO 박막센서가 가장 높은 민감도를 보임으로써 ITO/Au/ITO 다층박막이 기존의 ITO메탄올 센서를 대체할 수 있는 센서임을 확인하였다.
#ITO #Multilayer #Magnetron sputtering #Gas sensor #다층 #마그네트론 스퍼터 #가스센서

목차

Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experiments
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusions
References

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - A. Salehi / 2003 / / Sens. Actuators B 96 : 88 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - M. Fleischer / 1997 / / Sens. Actuators B 43 : 1 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - V. Vaishnav / 2005 / / Thin Solid Films 490 : 94 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - J. Park / 2009 / / J. Alloy Comp 478 : 330 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 김영은 / 2010 / RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 NiO 박막의 비저항 변화 / 한국진공학회지 19 (6) : 475 ~ 482 dbpia

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273295