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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이경수 (한양대학교) 서주영 (한양대학교) 송후영 (한양대학교) 김은규 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제5호
발행연도
2011.9
수록면
339 - 344 (6page)

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C-plane 사파이어 기판 위에 펄스 레이저 증착법으로 증착시킨 n-type ZnO 박막에 대한 Ti/Au 금속의 Ohmic 접합특성을 TLM (transfer length method) 패턴 전극을 통하여 연구하였다. 여기서, Ti와 Au 금속박막은 전자빔 증착기와 열 증착기로 각각 35 ㎚와 90 ㎚ 두께로 증착하였으며, TLM패턴은 광 리소그래피 법으로 면적이 100×100 ㎛²인 전극패턴을 6∼61 ㎛ 간격으로 형성하였다. Ti/Au 금속박막과 ZnO 반도체 사이의 전기적인 성질을 개선하고 응력과 계면 결함을 감소시키기 위해, 산소 가스 분위기로 100~500℃ 온도에서 각각 1분간 급속열처리를 하였다. 300℃의 온도에서 열처리한 시료에서 1.1×10-4 Ωㆍ㎠의 가장 낮은 비저항 값을 보였는데, 이것은 열처리 동안 티타늄 산화막 형성과정에서 ZnO 박막 표면 근처에 산소빈자리가 형성됨으로써 나타나는 전자농도의 증가가 주된 원인으로 고려되었다.
#펄스레이저증착법 #ZnO #Ohmic 접합 #Pulsed laser deposition #Ohmic contact

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (14)

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1. [학술지(정기간행물)] - H. Kim / 2000 / / Thin Solid Films 377 : 798 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - A. Mitra / 2001 / / Applied Surface Science 174 : 232 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - V. Craciun / 1995 / / Applied Surface Science 86 : 99 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Z. Jiwei / 2000 / / Ceramics International 26 : 883 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - S. -H. Kim / 2005 / / Electrochemical and Solid State Letters 8 : G198 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273573