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학술저널
저자정보
이규영 (국민대학교) 김수인 (국민대학교) 박상재 (국민대학교) 이동관 (한국과학기술원) 정용록 (한국과학기술원) 정준 (한국과학기술원) 이종림 (한국과학기술원) 이창우 (국민대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제4호
발행연도
2011.7
수록면
266 - 270 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2012

Nano-Indenter를 이용한 W-N 확산방지막의 Stress 거동 연구
이규영 ,  김수인 ,  김주영 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료

2011

Stress-Strain curve를 이용한 W-C-N 확산방지막 물성 특성 연구
이규영 ,  김수인 ,  박상재 외 5명 Applied Science and Convergence Technology 2011.07 학술저널
Stress - Strain Curve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구
이규영 ,  김수인 ,  박상재 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.02 학술대회자료

2010

연속압입 분석을 이용한 W-C-N 확산방지막 물성 연구
이규영 ,  김수인 ,  박상재 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 W (Tungsten)를 주 구성 물질로 불순물 C (Carbon)과 N (Nitrogen)을 첨가한 W-C-N 확산방지막 시편을 제조하였고, N2가스의 유량을 변화시키면서 확산방지막을 제조하여 각각의 시료에 대하여 600℃열처리를 하였다. 실험 결과 질소유량의 변화에 따라 시편의 탄소성 구간층의 물성 변화율이 시편의 탄성구간보다 큰 것을 알아냈다. 이는 질소 가스의 유량 변화가 시편의 탄소성 구간에 더욱 직접적으로 연관이 되었다는 것을 알 수 있었다. 각 시료는 16회 연속 압입 실험을 실시하여 Stress-strain curve를 통하여 질소 가스의 유량이 2 sccm인 박막의 분산이 적음을 알아냈고, 연속압입을 통하여 얻어진 상항복점의 표준 편차 역시 질소 가스의 유량이 2 sccm인 박막이 가장 적다는 것을 알 수 있었다. Stress-strain curve 분산과 상항복점의 Stress 값의 표준 편차의 크기로 부터 박막의 안정도를 예상할 수 있었으며, 이 결과로부터 W-C-N 박막은 질소 유량에 따라 박막의 안정도가 변화하는 것을 알았다.
#확산방지막 #W-C-N 박막 #나노인덴터 #응력-변형 곡선 #Diffusion barrier #W-C-N thin film #Nano-indenter #Stress-strain curve

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 김수인 / 2009 / W-C-N 확산방지막의 전자거동(ElectroMigration) 특성과 표면 강도(Surface Hardness) 특성 연구 / 한국진공학회지 18 (3) : 203 ~ 207 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 김수인 / 2007 / Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구 / 한국진공학회지 16 (5) : 348 ~ 352 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 김수인 / 2008 / 불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구 / 한국진공학회지 17 (6) : 518 ~ 522 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - 김수인 / 2008 / W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구 / 한국진공학회지 17 (2) : 109 ~ 112 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - W. C. Oliver / 1992 / / J. mater. Res 7 : 1564 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273437