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저자정보
이경동 (고려대학교) 김영도 (고려대학교) Shailendra S. Dahiwale (고려대학교) 부현필 (고려대학교) 박성은 (고려대학교) 탁성주 (고려대학교) 김동환 (고려대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제21권 제1호
발행연도
2012.1
수록면
29 - 35 (7page)

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수소화된 실리콘 질화막은 결정질 태양전지 산업에서 반사방지막과 패시베이션 층으로 널리 사용되고 있다. 또한, 수소화된 질화막은 금속 소성공정과 같은 높은 공정온도를 거친 후에도 결정질 실리콘 태양전지의 표면층으로서 충족되는 특성들이 변하지 않고 유지 되어야 한다. 본 연구에서는 Plasma enhanced chemical vapor deposition 장치를 이용한 수소화된 실리콘 질화막의 특성 변화에 대한 경향성을 알아보기 위하여 증착조건의 변수(온도, 증착거리, 무선주파수 전력, 가스비율 등)들을 다양하게 가변하여 증착조건의 최적화를 찾았다. 이후 수소화된 실리콘 질화막의 전구체가 되는 사일렌(SiH4)과 암모니아(NH3) 가스비를 변화시켜가며 결정질 실리콘 태양전지에 사용되기 위한 박막의 광학·전기·화학적 그리고 표면 패시베이션 특성들을 분석하였다. 가스 비율에 따른 수소화된 실리콘 질화막의 굴절율 범위는 1.90∼2.20까지 나타내었다. 결정질 실리콘 태양전지에 사용하기 위한 가장 적합한 특성은 3.6 (NH3/SiH4)의 가스비율을 나타내었다. 이를 통하여 156×156 mm 대면적 결정질 실리콘 태양전지를 제작하여 17.2 %의 변환 효율을 나타내었다.
#실리콘 질화막 #Plasma enhanced chemical vapor deposition 공정 윈도우 #패시베이션 #반사도 #전계효과 #Silicon nitride #Process window of PECVD #Passivation #Reflectance #Field effect

목차

I. 서론
II. 실험방법
III. 실험결과 및 고찰
IV. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - R. Wolf / 2001 / / Surf. Coat. Technol 142 : 786 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Tapati Jana / 2002 / / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 71 : 197 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - F. Duerinckx / 2002 / / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 72 : 231 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - H. Mackel / 2002 / / J. Appl. Phys 92 : 2602 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - B. L. Sopori / 1996 / / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 41 : 159 ~ google schola

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