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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 48 - 54 (7page)
이용수
초록· 키워드
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니켈촉매 막을 증착시킨 산화규소 기판위에 아세틸렌기체와 수소기체를 원료로, 육불화황기체를 첨가기체로 열화학기상증착시스템하에서 탄소코일을 증착하였다. 반응온도를 650oC에서 800oC까지 증가시키면서 증착된 탄소 코일의 기하구조를 조사하였다. 650oC에서는 주로 탄소나노필라멘트 형성의 전단계가 나타났으며, 반응온도가 증가하자(700oC) 나노 크기의 코일들이 나타났다. 775oC로 반응온도를 더욱 증가시키자, 파도물결과 같은 나노 코일들이 성장되었으며, 간혹 마이크로 크기의 코일들도 나타났다. 육불화황에 첨가된 불소의 에칭효과로 니켈 촉매의 크기를 줄일 수 있을 것으로 여겨지며, 따라서 육불화항 첨가기체의 사용으로 기존에 보고된 것보다 작은 크기의 직경을 갖는 마이크로 탄소 코일을 얻을 수 있었다.
목차
I. Introduction
II. Experimental
III. Results and discussion
IV. Conclusion
References
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