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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 17 - 21 (5page)
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투명전도산화막인 Ga-도핑된 ZnO (GZO) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용하여 증착하고 전기적, 광학적 특성을 연구하였다. 증착변수로 공정압력에 변수를 주었으며 공정 압력 변화에 따라 전기적 특성과 광학적 특성이 달라짐을 확인 할 수 있었다. 모든 박막은 공정압력에 상관없이 c-축(002) 방향성을 나타냈다. 증착된 GZO 박막의 전기저항성은 8.68×10<SUP>-3</SUP> Ωㆍcm ~ 2.18×10<SUP>-3</SUP> Ωㆍcm이었고, 모든 가시광 영역에서 90% 이상의 평균 투과율을 보였다. 공정압력에 따라 상온에서 증착된 GZO 박막은 우수한 낮은 저항성과 높은 투과율을 나타내었고, 평판디스플레이와 태양전지의 투명전극으로 응용되기에 적합한 특성을 지닌 것을 확인 할 수 있었다.
목차
I. 서론
II. 실험방법
III. 결과 및 논의
IV. 요약 및 결론
참고문헌
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - H. Kobayashi / 1991 / / J. Appl. Phys 69 : 1736 ~
2. [학술지(정기간행물)] - S. Major / 1986 / / Appl. Phys. Lett 49 : 394 ~
3. [단행본] - H. L. Hartnagel / 1995 / Semiconducting Transparent Thin Films / Institute of Physics Publishing
4. [학술지(정기간행물)] - M. Hiramatsu / 1998 / / J. Vac. Sci. Technol. A 16 : 669 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M. Chen / 2001 / / Mat. Sci. Eng. B 85 : 212 ~
2. [학술지(정기간행물)] - S. Major / 1986 / / Appl. Phys. Lett 49 : 394 ~
3. [단행본] - H. L. Hartnagel / 1995 / Semiconducting Transparent Thin Films / Institute of Physics Publishing
4. [학술지(정기간행물)] - M. Hiramatsu / 1998 / / J. Vac. Sci. Technol. A 16 : 669 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M. Chen / 2001 / / Mat. Sci. Eng. B 85 : 212 ~
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