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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.5
- 수록면
- 136 - 141 (6page)
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열처리 공정으로 제조한 In₂Se₃ 박막의 구조 및 광학적 물성을 조사하여 보고한다. 기판위에 스퍼터링 방법으로 인듐(In: indium)을 증착하고 셀레늄 분위기에서 열처리 온도를 변화시키며 In-Se 박막을 제조하였다. 열처리 온도가 증가함에 따라 In₂Se₃ 박막의 형성과 상의 변화를 관찰 할 수 있었다. 낮은 열처리 온도(≤150℃)에서는 In의 뭉침 현상을 관찰할 수 있었고 열처리 온도가 250℃ 부터 In₂Se₃ 박막이 형성되며 350℃ 에서 γ-In₂Se₃ 상이 형성됨을 알 수 있었다. 열처리 온도가 400℃로 증가면 wurtzite 구조의 고품질 γ-In₂Se₃ 박막을 얻을 수 있었다. 열처리 온도가 증가함에 따라 In₂Se₃ 박막의 밴드갭이 증가함을 알 수 있었고, 열처리 온도 400℃에서 제조된 γ-In₂Se₃ 결정질 박막의 밴드갭이 1.796eV임을 알았다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (16)
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1. [학술지(정기간행물)] - H. J. Gysling / 1992 / / Chemistry of Materials 4 : 900 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. Emziane / 1997 / / Vacuum 48 : 871 ~
3. [학술지(정기간행물)] - M. Asabe / 2008 / / Journal of Physics and Chemistry of Solids 69 : 249 ~
4. [학술지(정기간행물)] - R. Sreekumar / 2006 / / Solar Energy Materials and Solar Cells 90 : 2908 ~
5. [학술지(정기간행물)] - J. Bernede / 1997 / / Materials Chemistry and Physics 48 : 5 ~
2. [학술지(정기간행물)] - M. Emziane / 1997 / / Vacuum 48 : 871 ~
3. [학술지(정기간행물)] - M. Asabe / 2008 / / Journal of Physics and Chemistry of Solids 69 : 249 ~
4. [학술지(정기간행물)] - R. Sreekumar / 2006 / / Solar Energy Materials and Solar Cells 90 : 2908 ~
5. [학술지(정기간행물)] - J. Bernede / 1997 / / Materials Chemistry and Physics 48 : 5 ~
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