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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.5
- 수록면
- 158 - 163 (6page)
이용수
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본 연구에서는 폴리머 애자의 자가세정 코팅을 위한 소재로써 TiO₂ 박막을 실리콘과 유리, 폴리머애자 기판위에 증착하였다. TiO₂ 박막은 TiO₂ 세라믹 타겟이 부착된 RF 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 증착하였다. TiO₂ 박막은 스퍼터링의 다양한 공정조건 중 RF 파워의 크기에 따라 100 ㎚의 두께로 증착하였다. RF 파워에 따라 증착되어진 TiO₂ 박막의 접촉각, 표면거칠기등 표면 특성을 확인하였으며, UV-visible등 광학적 특성을 고찰하여, 구조적 특성과의 관계를 고찰하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
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