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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.11
- 수록면
- 333 - 341 (9page)
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본 연구는 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 산소유량 변화에 따라 증착된 ITO 박막 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 1.0×10-3 Torr의 공정 압력과 2 kW 및 13.56 MHz의 RF 전력, 1,000 sccm의 Ar 가스 조건하에 0∼12 sccm의 O2 가스 유량을 변경하면서 증착하였다. 광투과율 측정은 적분구를 이용하였으며, 측정 파장 범위는 300∼1,100 nm이다. 4-point probe를 이용하여 면저항을 측정하였으며, Hall Measurement System을 이용하여 비저항, 캐리어 농도 및 전자이동도를 측정하였다. Scanning electron icroscope 장비를 이용하여 ITO 박막 표면을 분석하였고, 박막의 거칠기는 Atomic force microscope을 이용하여 측정하였다. γ-Focused ion beam system을 이용하여 ITO 박막의 이차전자방출계수를 측정하였으며, 이차전자방출계수 값으로 Auger neutralization mechanism 분석법을 이용해 ITO 박막의 일함수를 결정하였다. 3 sccm의 산소 유량에서 증착된 ITO 박막의 비저항은 약 2.4×10-4 Ωㆍcm로 가장 좋았으며, 광학적특성 또한 84.93% (Weighted average)로 가장 좋은 것을 확인할 수 있었다. 이 조건에서 이차전자방출 계수가 가장 높았고 일함수는 가장 낮은 경향의 일치함을 확인하였다.
목차
초록
I. 서론
II. 실험 방법
III. 실험결과
IV. 결론
참고문헌
abstract
참고문헌 (32)
참고문헌 신청
최용락 / 2007 / D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 ITO 박막의 우선성장방향 변화 / 대한금속·재료학회지 45(10):579~586
C. J. Lee / 2000 / IDMC 2000:515
J. R. Bellingham / 1991 / Appl. Phys. Lett 58:2506
송준용 / 2010 / 기판 세정특성에 따른 표면 패시배이션 및 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 특성변화 분석 / 한국재료학회지 20(4):210~216
J. I. Pankove / 1980 / Display Devices, Topics in Applied Physics / Springer-Verlag :40
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