민감도 분석을 이용한 반도체 검사 장비의 X, Y 스테이지 구조의 경량화 연구

고만수; 권순기; 김참내

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자료유형: 학술저널

저자정보: 고만수 권순기 김참내

저널정보: 한국디지털정책학회 디지털융복합연구 디지털융복합연구 제17권 제7호

발행연도: 2019.1

수록면: 125 - 130 (6page)

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민감도 해석은 어떤 설계 변수의 변화가 전체 시스템에 미치는 영향을 확인하기 위한 방법으로, 계산된 민감도는 구조개선 시 중요한 지표가 된다. 본 연구에서는 유한요소해석을 이용하여 설계 변수에 대한 민감도 도출 및 분석 방법과, 민감도 결과를 활용한 구조개선 방법을 제안하였다. 구조 개선이 필요한 실제 반도체 검사 장비를 이용하여 경량화를 위한 설계 변수를 선정하고 설계 변수에 대한 민감도를 유한요소법과 유한차분법을 활용하여 계산하였으며, 장비가 요구하는 과도응답(Transient Response)은 유지하면서도 무게 감소가 가능한 개선 방안을 제시하였다. 유한요소해석과 유한차분법을 이용한 민감도 분석 결과를 이용한다면 구조물의 설계 개선 시 원하는 응력 또는 변위는 만족하면서도 구조적으로 향상된 설계를 할 수 있고, 이는 반도체 검사 장비뿐만 아니라 다양한 분야에서 활용이 가능하다.

#Transient Response #Sensitivity Analysis #Design Variable #Finite Element Analysis #Weight Reduction

참고문헌 (15)

참고문헌 신청

권순기 / 2012 / 컴프레서 브래킷의 경량화 / 한국생산제조학회지 21(1):65~69

D. W. Kim / 2018 / Thickness Optimization for the Spar Cap of Wind Turbine Blade based on Tsai-Wu and Puck Theory / The Journal of Korean society for Aeronautical &Space Sciences 18(4):79~80

김도원 / 2018 / 탄소섬유 복합재 및 두께 축소율을 이용한 풍력 블레이드 스파캡 경량화 설계 / 항공우주시스템공학회지 12(2):66~75

Matt N. Rizai / 1987 / An Efficient Method to Predict the Effect of Design Modifications / Journal of Mechanisms, Transmissions, and Automation in Design 109(3):377~384

SIEMENS / 2014 / Design sensitivity and Optimization User’s Guide, Siemens PLM Software in NX/NASTRAN user manual :151

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이 논문의 저자 정보

고만수

소속기관 호서대학교 기계공학부

주요연구분야 복합학 > 과학기술학

논문수 3 이용수 28

권순기

소속기관 호서대학교

주요연구분야 복합학 > 과학기술학

논문수 4 이용수 29

김참내

소속기관 한국디지털정책학회

주요연구분야 복합학 > 과학기술학

논문수 1 이용수 20

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