메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제28권 제4호
발행연도
2019.1
수록면
251 - 255 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
We propose a two-step lithography process to minimize edge-bead issues caused by thick photoresist (PR) coating. In the con- ventional PR process, the edge bead can be efficiently removed by applying an edge-bead removal (EBR) process while rotating thesilicon wafer at a high speed. However, applying conventional EBR to the production of desired PR mold with unique negative patternscannot be used because a lower rpm of spin coating and a lower temperature in the soft bake process are required. To overcome this problem, a two-step lithography process was developed in this study and applied to the fabrication of a polydimethylsiloxane (PDMS)film having super-hydrophobic characteristics. Following UV exposure with a first photomask, the exposed part of the silicon wafer wasselectively removed by applying a PR developer while rotating at a low rpm. Then, unique PR mold structures were prepared by employing an additional under-exposure process with a second mask, and the mold patterns were transferred to the PDMS. Resultsshowed that the fabricated PDMS film based on the two-step lithography process reduced the height difference from 23% to 5%. Inaddition, the water contact angle was greatly improved by spraying of hydrophobic nanosilica on the dual-scaled PDMS surface.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
B. Bhushan / 2010 / Natural and biomimetic artificial surfaces for superhydrophobicity, self-cleaning, low adhesion, and drag reduction / Progr. Mater. Sci 56(1):1~108 google schola T. -G. Cha / 2010 / Nanoscale patterning of microtextured surfaces to control superhydrophobic robustness / Langmuir 26(11):8319~8326 google schola S. M. Lee / 2008 / The Effect of the Surface Wettability of Nanoprotrusions Formed on Networktype, Microstructures / J. Micromech. Microeng 18(12):125007~125014 google schola T. Baldacchini / 2006 / Superhydrophobic Surfaces Prepared by Microstructuring of Silicon Using a Femtosecond Laser / Langmuir 22(11):4917~4919 google schola 김도형 / 2016 / 표면 젖음성을 이용한 물/오일 분리막 제작 / 센서학회지 25(3):213~217 dbpia

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0