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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제32권 제4호
발행연도
2019.1
수록면
320 - 326 (7page)

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최근, 상압 플라즈마 기술을 활용한 살균 분야가 증가하고 있다. 상압 플라즈마의 살균력은 매우 우수하지만, 플라즈마 방전시 발생하는 오존 기체는 인체에 해로운 영향을 끼친다. 플라즈마 방전시 발생하는 오존 기체를 감소시키기 위해 단 판형 플라즈마 방전소자에 열선을 형성하였다. 열선은 단순히 열을 방출하는 구조로 되어있고 이를 통해서 오존 기체를 효과적으로 분해 할 수 있다. 본 논문에서는 방전소자의 플라즈마 방전 특성과 다양한 아르곤 기체의 유량 및 가열온도에 따른 오존 발생량을 평가하였다. 또한, 다양한 플라즈마 방전조건 및 가열조건에 처리된 표면 상태를 평가하기 위해 표면의 접촉각 변화를 측정하였다. 아르곤 기체의 유량이 증가할수록 오존 발생량은 증가하였지만, 60sccm 이상의 유량에서는 유량이 증가할수록 오존 발생량은 감소하는 경향을 나타내었다.

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Im Hee Won / 2014 / Ozone-Free Portable Microwave Atmospheric Air Plasma Jet / IEEE Transactions on Plasma Science 42(10):2788~2789 Crossref 송광현 / 2014 / 저온 플라즈마를 이용한 피부치료기 개발에 관한 연구 / 한국전자통신학회 논문지 9(12):1427~1433 dbpia 손향호 / 2011 / 아르곤과 산소 대기압 플라즈마 방전 효과를 이용한 살균처리 / 공업화학 22(3):261~265 dbpia 이원영 / 2013 / 대기압 플라즈마 제트의 기체 유량에 대한 방전 특성 / Applied Science and Convergence Technology 22(3):111~118 dbpia 김진수 / 2017 / 아르곤·산소 분압 비에 따른 비정질 산화 박막의 성장 / 새물리 67(11):1399~1403 google schola

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