원자층 증착법을 이용한 질화물 박막의 저온 성장 및 전자소자 응용

최병준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최병준 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019년도 한국표면공학회 추계학술대회 및 특별강습회

발행연도: 2019.11

수록면: 54 - 54 (1page)

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