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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.2
수록면
85 - 85 (1page)

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2020

전자기 시뮬레이션을 이용한 임피던스 매칭 장치 내 RF 전력 측정 최적 위치에 관한 연구
서동국 ,  김시준 ,  이장재 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료
전자기 시뮬레이션을 이용한 임피던스 매칭 장치내 RF 전력 측정 최적 위치에 관한 연구
서동국 ,  김시준 ,  이장재 외 7명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.02 학술대회자료

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#반도체 공정 모니터링 #전력 측정 #매쳐내 측정 최적 위치 #3차원 전자기 시뮬레이션

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