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조철희 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 이상호 (충남대학교) 이영석 (충남대학교) 김시준 (나노텍) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.2
수록면
106 - 106 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

사중극자질량분석기를 이용한 플라즈마 활성종 측정 정확도 개선 연구
조철희 ,  이영석 ,  김시준 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료
공정 플라즈마 내 활성종 분포 예측을 위한 사중극자질량분석기 (QMS) 이온화 장치 특성 연구
조철희 ,  성인호 ,  이장재 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.02 학술대회자료

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#사중극자 질량분석기 #전자 에너지 분포 #활성종 진단 #플라즈마

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주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2016 .02

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