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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
조경환 (재료연구소) 양준영 (재료연구소) 변은연 (재료연구소) 박영배 (안동대학교) 정성훈 (재료연구소) 김도근 (재료연구소) 이승훈 (재료연구소)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제53권 제3호
발행연도
2020.6
수록면
116 - 123 (8page)

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Ion beam irradiation induces self-organization of nanostructure on the surface of polymer film. We show that the incident angle of Ar ions on polyethylene naphthalate(PEN) film changes self-organized nanostructure. PEN film was irradiated by argon ion beams with the ion incident angle of 0°, 30°, 45°, 60°, and 80°. Nanostructure was altered from dimple to ripple structure as the angle increases. The ripple structure changed to pillar structure after 60°due to that the shallow incident angle increased the ion energy transfer per depth up to 50 eV/Å, which value could induce excessive surface heating and oligomer formation reacting as a physical mask for anisotropic etching. And quantitative analysis of the nanostructures was adapted by using ABC model and fractal dimension theory.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (22)

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