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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.7
- 수록면
- 523 - 528 (6page)
- DOI
- 10.5139/JKSAS.2020.48.7.523
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스프링-메스 시스템의 원리를 이용하여 수평 구동형 MEMS 관성 스위치를 설계하였다. 본 MEMS 스위치는 외부에서 발생하는 가속도를 감지하여 점화안전장치를 장전시키는 역할을 한다. 성능 모델링을 통하여 다양한 가속도 조건에서의 구동 양상을 분석하였다. 시뮬레이션 결과 가속도의 기울기가 10g/msec 이하인 경우에 MEMS 스위치는 10g에서 잘 작동하는 것으로 나타났다. 반면에, 설계변수들의 공차를 10%로 고려한 시뮬레이션 결과 스프링 폭과 길이에 의해 임계 동작 가속도가 규격(10±2g)을 벗어났다. 제작 공정상 10% 이하의 공차 관리가 어려운 스프링 폭을 두 배로 늘렸을 때 규격을 만족하는 것을 확인하고 설계보완을 제안하였다.
목차
ABSTRACT
초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
Matsunaga, T. and Esashi, M., “Acceleration Switch with Extended Holding Time using Squeeze Film Effect for Side Airbag Systems,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 100, Issue 1, August 2002, pp. 10~17.
Currano, L. J., Yu, M. and Balanchandran, B., “Latching in a MEMS Shock Sensor: Modeling and Experiments,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 159, Issue 1, April 2010, pp. 41~50.
Greywall, D. S., “MEMS-Based Inertial Switch,” U.S. Patent, 7,218,193, 15 May 2007.
Gerson, Y., Schreiber, D., Grau, H. and Krylov, S., “Meso Scale MEMS Inertial Switch Fabricated using an Eletroplated Metal-on-Insulator Process,” Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 24, No. 2, January 2014, pp. 405~412.
Xu, Q., Sun, B., Li, Y., Xiang X., Lai, L., Li, J., Ding, G., Zhao, X. and Yang, Z., “Design and Characterization of an Inertial Microswitch with Synchronous follow-up Flexible Compliant Electrodes capable of Extending Contact Duration,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 270, February 2018, pp. 34~45.
Currano, L. J., Yu, M. and Balanchandran, B., “Latching in a MEMS Shock Sensor: Modeling and Experiments,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 159, Issue 1, April 2010, pp. 41~50.
Greywall, D. S., “MEMS-Based Inertial Switch,” U.S. Patent, 7,218,193, 15 May 2007.
Gerson, Y., Schreiber, D., Grau, H. and Krylov, S., “Meso Scale MEMS Inertial Switch Fabricated using an Eletroplated Metal-on-Insulator Process,” Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 24, No. 2, January 2014, pp. 405~412.
Xu, Q., Sun, B., Li, Y., Xiang X., Lai, L., Li, J., Ding, G., Zhao, X. and Yang, Z., “Design and Characterization of an Inertial Microswitch with Synchronous follow-up Flexible Compliant Electrodes capable of Extending Contact Duration,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 270, February 2018, pp. 34~45.
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