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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제29권 제6호
발행연도
2019.1
수록면
239 - 244 (6page)

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수소 분위기 열처리 및 수소 플라즈마 처리의 두 가지 수소화 표면개질을통해 나노다이아몬드 seed 입자의 분산 향상 및 평탄한 초미세 나노결정질 다이아몬드 박막증착을 위한 핵형성 밀도 향상을 확보하였다. 수소화 처리 이후 나노다이아몬드 입자 표면의 탄소-산소 및 산소-수소 결합기가 탄소-수소 결합기로 전환되는 화학적 표면개질이 진행되었고Zeta 전위가 증가하였다. 분산도 향상에 따라 나노다이아몬드 응집체 크기가 현저하게 감소하였고 핵형성 밀도는 크게 증가하였다. 600oC, 수소분위기에서 열처리 이후 나노다이아몬드 평균 입자 크기가 3.5 m에서 34.5 nm로 크게 감소하였고,seeding 된 Si 기판 표면에서 ~3.9 × 1011nuclei/cm2의 매우 높은 핵형성 밀도를 확보하였다.

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J. Hees / 2013 / Piezoelectric actuated micro-resonators based on the growth of diamond on aluminum nitride thin films / Nanotechnol 24:025601 google schola N. Moldovan / 2001 / Micromachining of ultrananocrystalline diamond / Proc. SPIE 4557:288 google schola M. W. Geis / 1998 / A new surface electron-emission mechanism in diamond cathode / Nature 393:431 google schola J. Cvacka / 2003 / Boron-doped diamond microelectrodes for use in capillary electrophoresis with electrochemical detection / Anal. Chem 75:2678 google schola O. Auciello / 2010 / Status review of the science and technology of ultrananocrystalline diamond (UNCD) films and application to multifunctional devices / Diamond Relat. Mater 19:699 google schola

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