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한국전자통신학회 한국전자통신학회 논문지 한국전자통신학회 논문지 제15권 제1호
발행연도
2020.1
수록면
39 - 44 (6page)

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유리기판위에 스퍼터링법으로 비정질 BaTiO3막을 증착시켰다. 증착된 BaTiO3 막을 코로나 폴링을 하여 광학적 특성을 조사하였다. 가시광영역에서 투과율은 80% 이상으로 좋았으며, 비선형광학 특성은 폴링 조건에 따라 영향을 받으며, 크기는 1.15pm/V였다. 장기특성도 한달이 지나도 60%이상 유지하였다. 또한 BaTiO3 박막으로부터 녹색광 발생을 확인하였다.

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