Effect of the Work Function of Pt-Ru Bimetallic Alloy on Thin Film Thickness synthesized by Atomic Layer Deposition

우현재; 권세훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 우현재 (부산대학교) 권세훈 (부산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020년도 한국표면공학회 춘계학술대회 및 특별강습회

발행연도: 2020.6

수록면: 84 - 84 (1page)

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