PEALD TaNx 박막 내 질소 함량 확산 방지 특성에 미치는 영향

문대용 ,  한동석 ,  신새영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

TaOx층 형성에 따른 TaNx / Cr 박막의 저항특성 변화에 관한 연구

허명수 ,  김종호 ,  이건환 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

고정밀 박막 저항체용 TaNx film에서 Cr interlayer가 film의 저항온도계수 안정화에 미치는 영향에 관한 연구

허명수 ,  천희곤 ,  이건환 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Investigation of TaNx diffusion barrier properties using Plasma-Enhanced ALD for copper interconnection

한동석 ,  문대용 ,  권태석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

TaNx / Cr, Cermet 적층 박막의 비저항 및 저항온도계수에 관한 연구

허명수 ,  천희곤 ,  이건환 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1994 .06

Microstructural evolution of tantalum nitride thin films synthesized by inductively coupled plasma sputtering

김영운 ,  백성일

한국현미경학회지

2020 .01

고분해능 방사광 X-선 회절을 이용한 박막 구조분석

장창환 ,  노명근 ,  조만호 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2003 .01

Pulsed Laser Deposition을 이용한 Zn_0.4Fe_1.6O₃ 박막 합성과 그 결정구조 및 자기적 특성의 연구

장안나 ,  박창엽 ,  송종현

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2011 .06

Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiO_x 박막연구

정유정 ,  윤정흠 ,  이성훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

X-선 회절 현상을 이용한 물질의 3차원 입체 구조 분석

김종혁

한국분석과학회 학술대회

2015 .11

NiCr_1.9Fe_0.1O₄의 중성자 회절 연구

박승일 ,  최강룡 ,  안근영 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .12

[해설]X-선 회절의 원리와 응용

안병량

분석과학

1994 .06

전구체 박막 증착법을 이용한 CuInSe2 박막 합성 및 결정화 메커니즘 분석

이동욱 ,  최영우 ,  용기중

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

중성자 분말회절법을 이용한 삼팔면체 운모의 결정구조 연구

이철규 ,  송윤구 ,  김신애 외 2명

한국암석학회 학술발표회 논문집

2003 .05

저온프로세스를 이용한 Si_1-xGe_x 박막 제작

Byung-Yoon Chu ,  Sung-Chae Yang ,  Jung-Hui Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

$C_{13}H_{15}N_3O_3$의 결정 구조

박해윤 ,  김문집 ,  박호종

한국결정학회지

2004 .01

중성자 4축 단결정 회절장치을 이용한 $KD_2PO_4$ 의 결정구조 연구

김신애 ,  송수호 ,  이창희

한국결정학회 학술연구발표회

2000 .01

Sol-gel 법에 의한 Co - Zn Ferrite 박막의 제조와 자기 특성에 관한 연구

이승화 ,  양계준 ,  류연국 외 2명

한국자기학회지

2001 .08