나노초 펄스레이저를 이용한 실리콘의 절단특성 고찰

서종현; 이학용; 김여진; 한유희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 서종현 (이오테크닉스) 이학용 (이오테크닉스) 김여진 (이오테크닉스) 한유희 (이오테크닉스)

저널정보: 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 한국레이저가공학회 2003년도 춘계학술발표대회 논문개요집

발행연도: 2003.1

수록면: 100 - 102 (3page)

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김여진

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한유희

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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