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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
유영삼 (한양대학교 재료화학공학부) 김태곤 (한양대학교 재료화학공학부) 손일룡 (한양대학교 바이오나오공학과) 박진구 (한양대학교 재료화학공학부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2007년도 춘계학술발표대회 및 제12회 신소재 심포지엄
발행연도
2007.1
수록면
242 - 242 (1page)

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2007

레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향
유영삼 ,  김태곤 ,  손일룡 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2007.01 학술대회자료
레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
유영삼 ,  김태곤 ,  손일룡 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2007.01 학술대회자료

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#Dry cleaning #Laser-induced plasma #Laser shockwave #Semiconductor cleaning

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