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저자정보
김호진 (한국원자력연구소 원자력재료기술개발팀, 성균관대학교 신소재공학과) 주진호 (성균관대학교 신소재공학과) 전병혁 (한국원자력연구소 원자력재료기술개발팀) 정충환 (한국원자력연구소 원자력재료기술개발팀) 박순동 (한국원자력연구소 원자력재료기술개발팀) 박해웅 (한국기술교육대학교 금속&middot) 홍계원 (재료공학과) 김찬중 (한국산업기술대학교 전자공학과)
저널정보
한국초전도저온학회 한국초전도저온공학회 학술대회 한국초전도저온공학회 2002년도 학술대회 논문집
발행연도
2002.1
수록면
91 - 94 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2003

MOCVD공정에 의한 Ag 기판 위에 YBCO 박막의 증착
김호진 ,  주진호 ,  전병혁 외 1명 한국초전도저온공학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

2002

양축 정렬된 Ni기판 위에 MOCVD법에 의한 YBCO 초전도 선재용 $CeO_2$ 완충층의 증착
김호진 ,  주진호 ,  전병혁 외 5명 한국초전도·저온공학회논문지 2002.01 학술저널
양축 정렬된 Ni기판 위에 MOCVD법에 의한 YBCO 초전도 선재용 Ce$O_{2}$ 완충층의 증착
김호진 ,  주진호 ,  전병혁 외 5명 한국초전도저온공학회 학술대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Textured Ce$O_{2}$ buffers for YBCO coated conductors were deposited on biaxially textured Ni substrate by metalorganic chemical vapor deposition The texture of deposited Ce$O_{2}$ films was varied with deposition temperature(T) and oxygen partial pressure($Po_{2}$). ($\ell$ 00) textured Ce$O_{2}$ films were deposited at T= 500~$520^{\circ}C$, $Po_{2}$= 0.90~3.33 Torr. The growth rate of the Ce$O_{2}$ films was 150~200 nm/min at T= $520^{\circ}C$ and $Po_{2}$= 2.30 Torr, which was much faster than that prepated by other physical deposition method.

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