액막 보조 레이저 충격파 세정 공정

장덕석 ,  김동식

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2004 .01

레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거

김진수 ,  이승호 ,  박진구

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향

유영삼 ,  김태곤 ,  손일룡 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

레이저 충격파 클리닝 공정에서 분위기 가스의 영향

김태훈 ,  김도훈 ,  이종명 외 4명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

금속세정공정의 청정기술 적용사례

정찬교 ,  구희준

청정기술

1997 .12

레이저 유도 충격파의 실험적인 제어를 기반으로 한 점형 파이로 충격파 응답 스팩트럼 예측 알고리즘 개발

장재경 ,  이정률

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2014 .04

Study on Multiple Shock Wave Structures in Supersonic Internal Flow

Jintu K James ,  Heuy Dong Kim

한국추진공학회지

2020 .06

Laser 충격파 세정에서 플라즈마 생성 위치에 따른 오염 입자 제거 효과

강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

레이저 유기 충격파 클리닝 공정에서 펄스 에너지에 따른 영향

김태훈 ,  김도훈 ,  이종명 외 2명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

레이저 세정의 세정메카니즘 규명을 위한 실험적 연구

송재동 ,  백지영 ,  이명화 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

2007 .12

Laser 충격파를 이용한 실리콘웨이퍼 표면에서의 미세 오염입자 제거

강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

고 출력 레이저에 의한 충격파 현상 연구 및 응용

이현희 ,  여재익

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2007 .11

레이저 유도 충격파를 이용한 반복법 기반의 파이로 충격파 모사 알고리즘 개발

김용운 ,  장재경 ,  이정률

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2016 .04

파이버 레이저를 이용한 임플란트 세정 효과에 관한 연구

박은경 ,  이가람 ,  이현중 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

고 에너지를 이용한 충격파 발생과 응용

이현희 ,  여재익

한국추진공학회 학술대회논문집

2007 .04

펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화

이성훈 ,  이주홍 ,  김필기 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .06