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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김기운 (한국기술교육대학교 기계공학과) 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) 곽승기 (삼성전자[주]) 박만호 (SIT[주])
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2004.1
수록면
253 - 258 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

반도체 제조라인의 냉수 시스템 효율성 증대에 관한 연구
김기운 ,  김광선 ,  곽승기 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2004.01 학술대회자료

2003

반도체 제조라인의 냉각 시스템 효율성 증대에 관한 연구
김기운 ,  김광선 ,  곽승기 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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21C 정보화시대를 맞이하여 반도체 산업이 급속하게 발전함에 따라 컴퓨터를 활용한 효율성이 높은 유틸리티 관리 시스템(New Utility Management System) 기술이 중요시되는 추세이다. 본 연구에서는 유틸리티 관리시스템의 한 부분인 냉수 시스템에 대해 정상상태 유동해석을 통하여 각 구성 요소에서의 유량 및 압력, 온도를 제공할 수 있는 컴퓨터해석시스템을 구현하였다. 효율성 증대를 위해 펌프 위치에 따른 시스템 변화를 파악하여 시스템에 영향을 크게 미칠 수 있는 펌프 즉, 가동하면 효율적인 펌프를 결정하였으며 최적의 리턴라인(Return Line) 위치를 설계하였다. 이 결과는 운전 및 관리의 효율성 증대와 에너지 절감을 위하여 매우 유익한 활용이 가능하다.

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