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정우석 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 양신혁 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 유민기 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 박상희 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 조두희 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 윤성민 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 변춘원 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 정승묵 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 조경익 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀) 황치선 (한국전자통신연구원 투명디스플레이팀)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
발행연도
2009.1
수록면
42 - 42 (1page)

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산화아연 (ZnO)으로 대표되는 산화물반도체는 최근 다양한 비정질 산화물반도체들이 개발되고 있고 높은 이동도와 저온공정 등의 장점으로, 실리콘 기반 박막소자 (비정질-Si, 또는 다결정-Si(LTPS) 트랜지스터)를 대체할 차세대 박막 트랜지스터 (Thin-Film Transistor)의 핵심소재로 관심을 모으고 있다. 또한, 산화물 반도체는 근본적으로 투명하므로, 투명 전극 및 투명 기판재료와 함께 투명 디스플레이도 구현시킬 수 있을 것이다. 그렇지만, 핵심 전자소재로서 향후 디스플레이 및 디바이스에 성공적으로 적용되기 위해서는 소자의 특성 뿐만아니라, 전기적 신뢰성(reliability)을 강화시킬 필요가 있다. 본 발표에서는 In-Ga-Zn-oxide (IGZO), Zn-Sn-oxide (ZTO), Zn-In-Sn-oxide (ZITO) 및 도핑원소를 첨가한 소재에 이르기까지 다양한 산화물 반도체 소재 기술과 소자의 신뢰성 향상을 위한 기술 등을 소개할 것이다.
#산화물반도체 #디스플레이 #투명전자소자 #신뢰성

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