반도체 공정중 연속적인 SCI-산화 과정이 실리콘 기판 표면에 미치는 영향

박진구

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1994년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집

발행연도: 1994.1

수록면: 58 - 58 (1page)

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1995

반도체 공정중 연속적 산화-HF 식각-염기성 세정과정이 실리콘 기판 표면에 미치는 영향

박진구 한국재료학회지 1995.01 학술저널

1994

반도체 공정중 연속적인 SCI-산화 과정이 실리콘 기판 표면에 미치는 영향

박진구 한국재료학회 학술발표대회 1994.01 학술대회자료

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박진구

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