Thermal Instability of ( Ti , Co ) Silicides by High Temperature Annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Rapid Thermal Annealing System의 시험 제작 ( Experimental Results of a Prototype Rapid Thermal Annealing System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]

최진석 ,  백수현 ,  송영식 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

니켈실리사이드의 색차분석

정영순 ,  송오성 ,  김득중 외 2명

한국표면공학회지

2005 .02

Characterization of tantalum silicide films formed by composite sputtering and rapid thermal annealing

조현준 ,  백수현 ,  최진석 외 3명

한국재료학회지

1992 .01

RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구 ( A Study on the Formation of Cobalt Silicide and its Growth Rate by Rapid Thermal Annealing ( RTA ) )

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

RTA를 이용한 Cobalt Silicide의 형성 및 Growth Rate에 관한 연구

강유석 ,  김효완 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

급속 열처리 방식에 의한 Ti-실리사이드의 형성 연구 ( Formation of Ti-silicides by Rapid Thermal Annealing )

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .08

Properties of Dinickel-Silicides Counter Electrodes with Rapid Thermal Annealing

Kim ,  Kwangbae ,  Noh 외 3명

한국재료학회지

2017 .01

니켈 실리사이드의 열안정성에 대한 실리카 상부막과 코발트 중간막의 영향

한길진 ,  조유정 ,  김영철 외 4명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

폴리실리콘 기판 위에 형성된 코발트 니켈 복합실리사이드 박막의 열처리 온도에 따른 물성과 미세구조변화

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2006 .01

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 ( 1 ) ( On the formation of Ta-Silicides - 1 - )

양희준 ,  최진석 ,  조현춘 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

On the formation of Ta-silicides -2-

Hee-Jun Yang ,  Dong-Won Kim ,  Jin-Seog Choi 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 - 2 - ( On the Formation of Ta-Silicides - 2 - )

양희준 ,  김동원 ,  최진석 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Stress Dependence of Thermal Stability of Nickel Silicide forNano MOSFETs

Ying-Ying Zhang ,  Won-Jae Lee ,  Zhun Zhong 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

코발트 니켈 합금 구조에서 생성된 실리사이드의 마이크로 핀홀의 발생

송오성 ,  김상엽 ,  전장배 외 1명

한국재료학회지

2006 .01

Si 기판 위에 Mo-Silicides의 형성과 그 특성에 관한 연구 ( A Study on the Properties and Formation of Mo-Silicides on Si-Substrate )

조한수 ,  조현춘 ,  최진석 외 1명

전자공학회논문지-A

1991 .01

새로운 AnneaLing 방법

홍순관 ,  박선우 ,  김철주

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

새로운 Annealing 방법 ( A New Annealing Method )

홍순관 ,  김철주 ,  박선우

대한전자공학회 학술대회

1988 .07