EFFECT OF ANNEALING ATMOSPHERE ON THE DELAMINATION OF Pt LAYER IN SiO$_2$/Pt/PZT/Pt STRUCTURE

Park, Young-Soo; Chung, Chee-Won; Lee, June-Key; Chung, Il-Sub

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Park, Young-Soo (Samsung Advanced Institute of Technology, Electronic Materials Laboratory) Chung, Chee-Won (Samsung Advanced Institute of Technology, Electronic Materials Laboratory) Lee, June-Key (Samsung Advanced Institute of Technology, Electronic Materials Laboratory) Chung, Il-Sub (Samsung Advanced Institute of Technology, Electronic Materials Laboratory)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 IUMRS-ICEM ABSTRACT BOOK

발행연도: 1998.1

수록면: 413 - 413 (1page)

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