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불산-오존-희석 암모니아수 세정에 의한 실리콘 웨이퍼 표면의 미세입자 제거
화학공학
2007 .01
초순수수내에서의 오존의 거동 및 세정 효과
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
세정공정에서의 오존층파괴와 대체세정
한국표면공학회지
1998 .12
오존의 정수처리 적용을 위한 오존소비인자에 관한 연구
대한환경공학회지
2005 .06
오존 , 오존/high pH , 오존/과산화수소 공정에서 부식산의 분해 특성
대한환경공학회 학술발표논문집
1999 .04
UN-ozone을 이용한 실리콘 표면 세정 효과의 연구
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
반도체 웨이퍼의 오존 수(水) 세정을 위한 고농도 오존발생장치 특성 연구
전기학회논문지 C
2003 .12
오존과 자동차
오토저널
2012 .07
신개념 태양전지 세정용 오존마이크로 버블에 관한 연구
전기학회논문지
2012 .01
레이저 복합기의 재제조공정을 위한 전자부품 세정시스템의 개발
청정기술
2012 .09
오존예보시스템을 위한 오존 발생량의 예측기법 개발에 관한 연구
청정기술
2002 .03
초순수내에서의 오존의 용해도와 세정효과
한국재료학회지
1998 .01
금속불순물 제거를 위한 UV/ozone과 HF 세정연구
한국재료학회지
1996 .01
실리콘 웨이퍼 세정을 위한 오존의 거동에 관한 연구
반도체및디스플레이장비학회지
2005 .01
오존 기능수를 이용한 저소비형 반도체 세정공정시스템
기계저널
2007 .04
오존 접촉조 형태 및 오존발생량에 따른 용존 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
원자력산업에서 지르코늄 스크랩 재활용을 위한 세정기술에 관한 연구
청정기술
2013 .09
오존산화 처리시 원수특성 도출을 위한 오존분해속도 인자에 대한 연구
대한환경공학회 학술발표논문집
1999 .04
오존산화 처리시 원수특성 도출을 위한 오존분해속도 인자에 대한 연구 -1
대한환경공학회지
2001 .07
오존분해속도 인자를 이용한 오존접촉지 설계기법 개발
대한환경공학회 학술발표논문집
1999 .04
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