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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김상렬 (안동과학대학 산업보건과) 김두현 (충북대학교 안전공학과) 김상철 (세명대학교 안전공학과) 이종호 (충북대학교 안전공학과)
저널정보
한국안전학회 한국안전학회 학술발표회 한국안전학회 2000년도 춘계 학술논문발표회 논문집
발행연도
2000.1
수록면
70 - 77 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2002

패키지 반도체소자의 ESD 손상에 대한 실험적 연구
김상렬 ,  김두현 ,  강동규 한국안전학회지 2002.01 학술저널

2000

반도체소자의 정전기방전(ESD)에 의한 장해
김상렬 ,  김두현 ,  김상철 외 1명 한국안전학회 학술발표회 2000.01 학술대회자료

초록· 키워드

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정전기 장해대책의 기본은 정전기의 발생을 억제하는 것과 축적된 전하를 될 수 있는 대로 조속히 완화시키는 것이다. 정전기로 인한 장해는 여러 분야에서 발생되고 있으며 그 중요성 및 심각성을 간과할 수 없다. 그 중에서 반도체 분야는 경제성, 고성능화, 고신뢰성화의 실현을 위하여 반도체소자가 점차 LSI화되고 그 때문에 기술경향은 미세화, 집적화가 매년 진행되어 미크론의 시대에 이르렀으며 접합깊이, 게이트 산화막, 트랜지스터의 길이 등이 상당히 작아지고 있다. (중략)

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