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자료유형
학술저널
저자정보
이종무 (인하대학교 금속공학과) 이병욱 (인하대학교 금속공학과) 권영재 (인하대학교 금속공학과) 김영욱 (삼성전자) 이수천 (삼성전자)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제6권 제9호
발행연도
1996.1
수록면
861 - 870 (10page)

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Co 단일층과 Co/Ti 이중층으로부터 형성된 코발트 실리사이드를 최종 막의 구조와 에피텍셜 성장 측면에서 조사하였다. Co 단일층은 그 두께와는 관계없이 전체 막이 CoSi2로 변화된 반면에, Co/Ti 이중층 구조에서는 Co와 Ti 막의 두께비가 최종막 구조에 상당한 영향을 주었다. 그리고 CoSi2막의 에피 성장이 Co 단일층에서 보다는 Co/Ti 이중층에서 보다 용이하였다.

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